產(chǎn)品描述：全自動(dòng)系統(tǒng)，可以在晶圓盒和callotes之間傳送晶圓精確地放置，通過自動(dòng)位置測(cè)量和自動(dòng)化指導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)的操作精度和重復(fù)性多功能性，分段掃描映射可以自動(dòng)檢測(cè)不同的分段類型和不同calotte類型主機(jī)通知，晶圓ID，晶圓盒 ID，段位ID以及段內(nèi)位置滿足處理要求的可靠性吞吐量全速傳輸時(shí)240 wph 下料模式時(shí)為240 wph 上料模式為160wph 機(jī)電一體化元件和技術(shù)可以更大限度地提高晶圓的安全性。

詳細(xì)介紹

全自動(dòng)系統(tǒng)，可以在晶圓盒和callotes之間傳送晶圓

精確地放置，通過自動(dòng)位置測(cè)量和自動(dòng)化指導(dǎo)，實(shí)現(xiàn)的操作精度和重復(fù)性

多功能性，分段掃描映射可以自動(dòng)檢測(cè)不同的分段類型和不同calotte類型

主機(jī)通知，晶圓ID，晶圓盒 ID，段位ID以及段內(nèi)位置

滿足處理要求的可靠性

吞吐量全速傳輸時(shí)240 wph

下料模式時(shí)為240 wph

上料模式為160wph

機(jī)電一體化元件和技術(shù)可以更大限度地提高晶圓的安全性。

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