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RLD10角錐反射鏡干涉儀

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更新時間：2024-07-20 16:29:10瀏覽次數(shù)：137次

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產(chǎn)品簡介

角錐反射鏡干涉儀適合長距離和高速應(yīng)用

詳細(xì)介紹

角錐反射鏡干涉儀適合長距離和高速應(yīng)用。

RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、的多通道條紋檢測系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號。

特性與優(yōu)點(diǎn)

  • 多軸解決方案 — 單軸和雙軸角錐反射鏡系統(tǒng)為多軸應(yīng)用提供理想解決方案。

  • 長距離和高速度 — 角錐反射鏡干涉儀發(fā)射頭適合具有更長距離和更高速度的應(yīng)用，此時平面鏡干涉儀可能不適用。

  • 敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號，適合功耗要求低于標(biāo)準(zhǔn)RLD特定值（即 < 2 W）的應(yīng)用。

規(guī)格

軸行程0 m至4 m
分辨率（使用RLU配置）

模擬正交 = λ/2 (316 nm)
數(shù)字正交 = 20 nm
RPI20分辨率 = 77.2 pm

系統(tǒng)非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于100 mm/s且信號強(qiáng)度 > 70%時 <±5 nm
2 m/s且信號強(qiáng)度 > 50%時 <±13 nm
速度可達(dá)2 m/s

對于長度超過4 m的軸，請查看HS20激光尺系統(tǒng)，它支持長達(dá)60 m的軸。

對于非真空應(yīng)用，為了維持變動環(huán)境條件下的精度，需要某種形式的折射率補(bǔ)償。雷尼紹提供RCU10實(shí)時正交補(bǔ)償系統(tǒng)，用于對環(huán)境變化進(jìn)行補(bǔ)償。雷尼紹供應(yīng)的角錐反射鏡可能不適于真空或接近真空的應(yīng)用。

RPI20并行接口集成到RLE系統(tǒng)中，可達(dá)到38.6皮米的分辨率（平面鏡配置）。對于具有數(shù)字輸出的增強(qiáng)分辨率，雷尼紹的REE系列細(xì)分盒能夠提供0.395 nm的分辨率（平面鏡配置）。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號，并提供并行輸出格式。有關(guān)附件的詳細(xì)信息，請參見RCU10補(bǔ)償系統(tǒng)和激光尺接口。


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