手動放置和取出晶圓/承載環(huán)

自動膠膜進(jìn)給和貼膜

自動收隔離紙，適用于 UV 膜和非 UV 膜

自動圓形切刀切割膜

自動撕膜，收廢膜 (選項)；

晶圓臺盤溫度可編程控制，可達(dá) 120℃

標(biāo)準(zhǔn)8"、12"晶圓臺盤用于8"、12"晶圓，可配置金屬臺盤或高密度陶瓷臺盤

PLC 控制，帶 7"觸摸屏

配置光簾保護(hù)功能，和緊急停機(jī)按鈕

三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態(tài)監(jiān)控