:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
美國(guó) NANOVEA 公司是一家的在微納米尺度上的光學(xué)表面形貌測(cè)測(cè)量技術(shù)的,生產(chǎn)的三維非接觸式表面形貌儀是目前國(guó)際上用在科學(xué)研究和 工業(yè)領(lǐng)域表面輪廓測(cè)量設(shè)備之一,采用目前國(guó)際最前端的白光軸向色差原 理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的測(cè)試分析,通過專業(yè)的三維分析軟件可得到樣品表面的任意參數(shù), 例如:二維高度曲線分布圖,二維等高線分布圖,三維表面形貌圖、孔的深度, 孔的寬度,孔的面積,孔的體積,臺(tái)階高度、一維線粗糙度參數(shù)、二維線粗糙度 參數(shù),樣品的波紋度、功率譜密度,表面高度分層統(tǒng)計(jì),自相關(guān)統(tǒng)計(jì)等表面參數(shù)的測(cè)量。
第二:產(chǎn)品特性:
◎ 測(cè)量具有非破壞性:采用白光軸向色差技術(shù)。
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◎ 測(cè)量速度快:達(dá) 500mm/s。
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◎ Z 方向分辨率:達(dá) 2nm。
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◎ Z 方向測(cè)量范圍為 20mm。
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◎ XY 方向測(cè)量范圍:500mm×400mm,無需進(jìn)行圖片拼接。
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◎ 可測(cè)樣品的坡度:87°,是測(cè)??高坡度與高曲折度樣品的。
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◎ 測(cè)量范圍廣:可測(cè)平面、曲面、球面、透明、半透明、高曲折度、拋光、粗糙樣品、金屬材料、高漫反射,低反射率、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、 合成材料、衣服、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙 齒...)。
◎ 不受環(huán)境光的影響,測(cè)試前可做背底噪聲處理;
◎ 不受樣品反射率的影響,反射率的范圍為:0.01%-99%。
◎ 操作簡(jiǎn)單:樣品無需特殊處理,固定放置在工作臺(tái)上就可進(jìn)行測(cè)試。
◎ 優(yōu)于傳統(tǒng)的探針技術(shù)與干涉技術(shù)形貌儀。
第三:測(cè)量原理
Nanovea 公司的三維非接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x采用的是國(guó)際最前端的白光軸向色差技術(shù)(又稱為白光準(zhǔn)共聚焦技術(shù))實(shí)現(xiàn)快速,高分辨率,大范圍的三維表面形貌測(cè)量及相關(guān)參數(shù)測(cè)量的。
◎ 利用白光點(diǎn)光源,光線穿過透鏡后產(chǎn)生色差,不同波長(zhǎng)的光分開后入射到被測(cè)樣品上。
◎ 根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理,探測(cè)器系統(tǒng)只能接收到被測(cè)物體上單點(diǎn)反射回來的 特定波長(zhǎng)的光,從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。
◎ 這個(gè)點(diǎn)為點(diǎn)光源與傳感器所在的直線的中垂線與樣品的交點(diǎn)。
◎ 再通過點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo),即 X-Z 坐標(biāo)
◎ 最后以 S 路徑獲得物體??個(gè)點(diǎn)的三維 X-Y-Z 坐標(biāo)
◎ 最后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析
◎ 軟件能夠自動(dòng)獲取用戶關(guān)心的表面形貌參數(shù)。
第四:三維專業(yè)軟件分析
1、 可創(chuàng)建任意區(qū)域的 2D 曲線圖或 2D 等高線分布圖;
2、 可創(chuàng)建任意區(qū)域的 3D 圖;
3、 自動(dòng)得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)(Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku);
4、 自動(dòng)得到樣品的二維面粗糙度(Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku);
5、 可得到樣品的平整度,波紋度等參數(shù);
6、 自動(dòng)校準(zhǔn)功能,例如粗糙度,一般情況下對(duì)于曲面樣品,首先展平,然后自動(dòng)給出粗糙度的參數(shù);
7、 具有尺寸測(cè)??:長(zhǎng)度,寬度,角度,深度
8、 可測(cè)孔洞磨損面積,磨損體積等參數(shù);
9、 利用計(jì)算機(jī)遠(yuǎn)程控制;
10、 具有功率譜密度測(cè)試功能;
11、 具有分形統(tǒng)計(jì)功能;
12、 多種格式的圖與數(shù)據(jù)輸出。
第五:應(yīng)用
隨著微納米技術(shù)與精密加工技術(shù)的發(fā)展,對(duì)物體的表面參數(shù)的測(cè)??越來越重要,傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡技術(shù)與掃描電鏡技術(shù)已不能滿足工業(yè)開發(fā)對(duì)樣品進(jìn)行大 范圍、高精度、高速度、定量測(cè)量的需要,三維非接觸式表面形貌儀由于其的性能,可以解決這些傳統(tǒng)技術(shù)對(duì)三維表面形貌測(cè)量限制,越來越多的公司與高校的科研就夠開始使用三維非接觸式表面形貌儀來進(jìn)行產(chǎn)品的質(zhì)量控制與研發(fā), 三維表面形貌儀已成為研究材料表面特性的工具之一。 該設(shè)備也被廣泛的應(yīng)用于汽車,摩擦,航天,半導(dǎo)體,腐蝕,巖石,醫(yī)科材料,造紙,精密 加工,光學(xué),制藥等行業(yè)。
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