國(guó)產(chǎn)高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000采用的鏡筒設(shè)計(jì)，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無(wú)漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無(wú)論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。
電子槍類(lèi)型 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
加速電壓 0.1 kV ~ 30 kV
分辨率 1 nm @ 15 kV 2.5 nm @ 1 kV
樣品臺(tái) 五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)
放大倍率 1 ~ 1,000,000 x
產(chǎn)品特點(diǎn)
分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像
高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證
電子光路無(wú)交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力
電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品
水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性
磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無(wú)需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換
規(guī)格參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng)
分辨率 1.0nm @ 15 kV
2.5 nm @ 1 kV
放大倍率 1 x ～ 1,000,000 x
加速電壓 0.1 kV ～ 30 kV
電子槍類(lèi)型 高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍
磁場(chǎng)屏蔽 被動(dòng)式磁屏蔽
主動(dòng)式磁屏蔽（選配）
成像系統(tǒng)
探測(cè)器 鏡筒內(nèi)高角度電子探測(cè)器（Inlens-SE Detector）
側(cè)向二次電子探測(cè)器（ET Detector）
擴(kuò)展 背散射電子探測(cè)器（BSE Detector）
能譜儀（EDS）
背散射衍射（EBSD）
電子束感生電流（EBIC）
陰極熒光（CL）
圖像保存格式 TIFF、JPG、BMP、PNG
樣品室
真空控制方式 全自動(dòng)控制，無(wú)油真空系統(tǒng)
攝像頭 雙攝像頭
( 光學(xué)導(dǎo)航 + 樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控 )
樣品臺(tái)配置 五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)
行程
X: 130 mm
Y: 105 mm
Z: 40 mm（大行程可選配）
R: 360°
T: -10°～ +90°
減震
主副減震支架
雙氣室隔膜式減震器
主動(dòng)式減震器（選配）
軟件
語(yǔ)言 中文
操作系統(tǒng) Windows
導(dǎo)航 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航
自動(dòng)功能 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像
詳細(xì)的技術(shù)方案，歡迎致電或者微信技術(shù)交流：；
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QQ:2568841715
