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上海兆儀光電科技有限公司

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ZYG-1000型硅片顯微鏡

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上海兆儀光電科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、用途：ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業(yè)檢驗(yàn)用光學(xué)儀器，配置明/暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒"照明系統(tǒng)，景深大，視場(chǎng)清晰

詳細(xì)介紹

一、用途：

ZYG-1000硅片顯微鏡是一種多用途工業(yè)檢驗(yàn)用光學(xué)儀器，配置明/暗場(chǎng)物鏡、大視野目鏡與偏光觀察裝置，透反射照明采用“柯勒"照明系統(tǒng)，景深大，視場(chǎng)清晰。可用于半導(dǎo)體硅晶片、LCD基板、電路板、固體粉未及其它各種透明或不透明工業(yè)試樣檢驗(yàn)，是生物學(xué)、金屬學(xué)、礦物學(xué)、精密工程學(xué)、電子工程學(xué)研究的理想儀器。

二、系統(tǒng)簡(jiǎn)介

本系統(tǒng)是將傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡與計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))通過光電轉(zhuǎn)換有機(jī)的結(jié)合在一起，不僅可以在目鏡上作顯微觀察，還能在計(jì)算機(jī)(數(shù)碼相機(jī))顯示屏幕上觀察實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)圖像，并能將所需要的圖片進(jìn)行編輯、保存和打印。

ZYG-1000 系列硅片顯微鏡，采用無限遠(yuǎn)聚光系統(tǒng)。

三、技術(shù)參數(shù)

1.目鏡

類型	放大倍數(shù)	視場(chǎng)(mm)	備注
大視野目鏡	10X	Φ22
大視野目鏡	20X	Φ18（選配）
平場(chǎng)分劃目鏡	10X	Φ22（選配）	格值：0.1mm

2.物鏡

類型	放大倍數(shù)	數(shù)值孔徑NA	工作距離
無限遠(yuǎn)平場(chǎng) 消色差（明/暗場(chǎng)）物鏡	5X	0.12	8.05
	10X	0.25	7.86
	20X	0.40	7.23
	40X（選配）	0.60	3.0
	50X	0.70	1.75
	80X	0.80	0.80
	100X（干）（選配）	0.85	0.40

3.光學(xué)放大倍數(shù)：50X—1600X
4.濾色片組：黃色、藍(lán)色、綠色；
5.偏光裝置：可插入式起偏振片和三目頭內(nèi)置檢偏振片；
6.載物臺(tái)：外形尺寸：280×270mm，移動(dòng)范圍：橫向（X）204mm，縱向（Y）204mm；
7.粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)，微動(dòng)手輪格值：0.007mm；
8.反射照明器：12V/50W鹵素?zé)?，亮度可調(diào)。內(nèi)置視場(chǎng)光闌、孔徑光闌、濾色片轉(zhuǎn)換裝置，推拉式檢偏器與起偏器；

四、系統(tǒng)組成

電腦型(ZYG-1000E): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數(shù)字彩色攝像機(jī) 4.數(shù)據(jù)線 5.計(jì)算機(jī)（選購(gòu)）

數(shù)碼相機(jī)型(ZYG-1000D): 1.硅片顯微鏡 2.適配鏡 3.數(shù)碼相機(jī)（選配）

五、選購(gòu)件： 1.高像素成像系統(tǒng) 2.金相顯微鏡分析軟件

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