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行業(yè)產(chǎn)品

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司


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NewView9000白光掃描干涉儀

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產(chǎn)品型號NewView900

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間：2025-05-31 10:21:12瀏覽次數(shù)：13次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：267條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：馬經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

NewView 9000系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測量分析。測量過程都無損、快速，并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。使用zygo的相干掃描干涉技術(shù)，NewView 9000系列輪廓儀可以很容易的測量各種材質(zhì)表面，包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。

詳細介紹

系統(tǒng)參數(shù)：

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀。

◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器。

◆物鏡: 1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X, 工作距離分別有標(biāo)準(zhǔn)/長焦/超長焦詳見物鏡參數(shù)表。
◆物鏡座選件: 電動4位塔臺可選。
◆視場放大倍數(shù):高質(zhì)量分立放大倍率鏡頭：0.5X,1.0X,2.0X。
◆成像放大視場：電動3位系統(tǒng)成像放大0.04-16mm,跟物鏡和放大倍率有關(guān)，運用圖像拼接技術(shù)可以得到更大范     圍。
◆光源: 特殊設(shè)計長壽命白光LED。
◆控制：濾光板托架，視場光闌（輔助聚焦）。
◆測量陣列:1600×1600。
◆樣件觀察:專用液晶顯示屏實時觀察。
◆精密聚焦：電控手動和自動聚焦
◆Z 軸驅(qū)動（聚焦）:直流無刷微步進電機驅(qū)動，100mm行程，0.1um的精度
◆樣品臺: 電動,俯仰±3°和XY平移（±76mm）
◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL計算機
◆軟件: 在Microsoft Windows7下運行的ZYGO Mx軟件
◆尺寸（HWD）: 總尺寸：151×73×61cm; newview：75x64x56cm; 防震臺：76x61x61cm
◆總重量: 約229Kg; newview：約91Kg
性能：
◆縱向掃描范圍：150 um，可擴展到20mm
◆縱向分辨率：＜0.08nm
◆橫向分辨率：0.34-16.42um 與所選物鏡有關(guān)
◆掃描速度： ≥150 um/sec,與所選的CCD和掃描模式有關(guān)
◆RMS重復(fù)性：＜0.008nm, RMSσ
◆臺階測量：準(zhǔn)確度 ≤ 0.8%；重復(fù)性≤0.1%@1σ 
被測樣品特性：
◆材料： 各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射
◆尺寸（HWD）：89 x 203 x 203mm 或更大
◆反射率：0.05%-99%
環(huán)境要求：
◆溫度： 15-30℃  ＜1.0°C/15 分鐘
◆濕度： 相對濕度 5%-95%，無凝結(jié)
◆隔振：需要隔離 1-120Hz 的振動（VC-C）

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