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手持式四探針測試儀

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聯(lián)系人:郭經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

RTS-3型手持式四探針測試儀測量范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式設(shè)計(jì);體積僅為:185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高); 重量:350g;使用鋰電池供電,一次充電可連續(xù)使用100小時(shí);

詳細(xì)介紹

RTS-3型手持式四探針測試儀

測量范圍寬、精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式設(shè)計(jì);

體積僅為:185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高); 重量:350g;

使用鋰電池供電,一次充電可連續(xù)使用100小時(shí);

RTS-3型手持式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測試臺(tái)使用。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

RTS-3型手持式四探針測試儀技術(shù)指標(biāo)

測量范圍:

電阻率:0.01~1999.9Ω.cm;
方塊電阻:0.1~19999Ω/□;

橫流源 電流量程分為100μA、1mA兩檔,兩檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ; 精度:±0.1%;
顯示:以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰;極性、超量程自動(dòng)顯示;

四探針探頭基本指標(biāo):間距:1±0.01mm; 針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù):(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對(duì)誤差( 按JJG508-87進(jìn)行)1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測量大相對(duì)誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

外形尺寸:185mm(長)*90mm(寬)*30mm(高)

重量:350g

電源:鋰電池,一次充電可連續(xù)使用100小時(shí);

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境:溫度:23±2; 相對(duì)濕度:≤65%; 無高頻干擾; 無強(qiáng)光直射;


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